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為什麼光刻無塵室要用黃光燈管 2024-11-12
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光刻是集成電路(IC或芯片)制造中的重要工藝之一。簡單來說,它是通過使用光掩膜和光刻膠在基板上復制電路圖案的過程。nn基板將涂覆硅二氧化層絕緣層和光刻膠。光刻膠在被紫外光照射后可以容易地用顯影劑溶解,然后在腐蝕后,電路圖案將留在基板上。nn無塵室(Cleanroom)排除掉空間范圍內空氣中的微塵粒子等污染物,獲得一個相當潔凈的環境,常用于高精度制造的產業,包括半導體制造、生物技術、精密機械、醫療等,其中以半導體業對室內溫濕度、潔凈度要求最為嚴格、必須控制在某個需求范圍內,才不會對制程產生影響。nn光刻區為什麼選黃光?nn光刻膠的感光范圍通常位于200nm-500nm,這意味著在這個范圍內的光線可以引發光刻膠的化學反應。200-500nm的光線有紫外線,紫光,藍光,因此這三種光線在光刻區是一點也不能存在的。nn半導體無塵室之所以使用黃光,主要跟微影制程(photolithography)有關,它是半導體制造中的關鍵步驟之一,利用光線穿透印有電路圖的光罩及光阻,在硅芯片上投印出電路圖。nn在這個過程中,會將有二氧化硅絕緣層的硅晶圓涂上光阻,并于上方套上光罩(特定位置中有洞),透過紫外光照射,被光照過的光阻會變得容易溶解,將特定位置的光阻以顯影液溶解掉,再進行蝕刻,就只蝕刻到特定位置的二氧化硅,其他地方則被光阻保護。等蝕刻完畢,清除掉剩余的光阻,就完成微影制程。nn黃光比白光或其他顏色的光更柔和,因此它不太可能在設備或晶圓的表面產生刺眼的反射或眩光。使用黃光可以確保在光刻過程中,顏色敏感的化學品或其他材料的顏色不會受到其他光源的影響或失真。相對于其他光源,黃光對人眼更為友好,尤其是在長時間的操作下,減少眼睛的疲勞和刺激。nn光刻無紫外線T8 1.2m黃光LED燈管簡介:nn可直接替換舊的T8熒光燈管。nn具有紫外線保護功能,阻擋500納米以下的紫外線波長。nn穩定的質量,具有過熱、過流和短路保護。nn50,000小時的使用壽命,超過15,000次的開關周期。nn鋁和PC材料,無汞。nn注:傳播石英知識,分享行業話題,文章圖片非商業用途,存在侵權告知刪除!nn2024第二屆安徽國際石英產業大會暨展覽會nn

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