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納飛光電工業級皮秒激光器在切割ITO導電玻璃的應用 2023-11-28
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導電玻璃有多種類型,其中ITO導電玻璃使用較多,它是以鈉鈣基或硅硼基為玻璃加工原片,采用射、蒸發等多種方法在玻璃表面鍍上一層ITO(氧化銦錫)膜制作而成,厚度只有幾千埃。由于氧化銦錫具有導電作用,因此只要給玻璃一個電源,整塊玻璃便可通電,且氧化銦透過率高,具有高達90%的透光率,在等離子顯示、硅太陽電池、調諧指示管等器件中作為玻璃電極使用,使用范圍非常廣泛。nnITO導電玻璃的生產和使用,需要高精度、高效率、高品質的切割。誠然,如今的刀輪切割和CNC研磨切割工藝成熟、穩定可靠,精度也大為提高,但還或多或少存在一定缺陷:一是切割過程產生碎屑、碎塊和微裂痕,需要再進行一道CNC精磨;二是刀具易磨損,需不定時更換,增加耗材成本;三是傳統切割工藝主攻直線切割,對于異形(倒角、R角)切割比較困難。nn采用皮秒激光器切割ITO導電玻璃是一種易于控制的非接觸式的無耗材解決方案。納飛光電研發設計的1064nm工業級皮秒激光器,輸出功率超過30W,脈寬<10ps,利用低熱能擴散的特點,在熱傳導到周邊材料前完成材料打斷,在ITO導電玻璃切割中表現出良好的效果,因此10ps的激光器切割過程也可以稱為“冷加工”。極窄的脈寬可以獲得非常高的峰值功率,超過300uj的單脈沖能量,調整到匹配的切割參數后,在高速切割下能保證邊緣整齊、垂直性佳和內損傷低的優勢,不產生微裂紋、破碎或碎片問題,從而降低了制造成本。nn它的脈沖穩定性(PPS)<1%RMS,功率穩定性<1%RMS,這樣的高可靠性可保證持續、均勻的切割厚度和邊緣質量。同時,優異的光束質量(M2<1.3),聚焦后的光斑直徑在微米級別,這樣的優勢有二:一是可以進行高精度的切割,通過準確的定位即可進行非常切割,材料利用率高,不會造成材料損耗等,同時也意味著可以進行更加微小尺寸的切割,這是傳統刀具切割所無法匹及的。nn

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